| | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | Приборы вакуумного ионно-плазменного нанесения покрытий. Распылительные системы, вакуумные установки для нанесения тонкопленочных покрытий и др. Производство источников питания для ионно-плазменных технологий, магнетронно-распылительных систем, ионных источников с замкнутым дрейфом электронов. | | | | | | | | |
|
|